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傅立葉掃描顯微鏡-大範圍奈米結構非接觸型量測解決方案

產品型號：傅立葉掃描顯微鏡

產品分類：智慧製造相關

廠商名稱：先鋒科技股份有限公司

攤位號碼：J1028

產品特色

高速掃描與非接觸式的量測技術，相較於SEM(破片量測)與AFM(探針掃描量測)都非真正的非接觸量測，不僅提供單奈米級的量測準確度，適合應用在光學與電子產業的結構量測需求上。
量測技術上，主要透過準直光束有效的入射到結構表面產生散射狀況，擷取散射角度不同的繞射光，可以計算出真實結構的立體樣貌，主力為量測光柵或透鏡陣列等等的穿透型元件表面結構，也是能夠有效取代白光干涉儀的光學度量新技術。

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