傅立葉掃描顯微鏡-大範圍奈米結構非接觸型量測解決方案
產品型號:傅立葉掃描顯微鏡
產品分類:智慧製造相關
廠商名稱:先鋒科技股份有限公司
攤位號碼:J1028
產品特色
高速掃描與非接觸式的量測技術,相較於SEM(破片量測)與AFM(探針掃描量測)都非真正的非接觸量測,不僅提供單奈米級的量測準確度,適合應用在光學與電子產業的結構量測需求上。
量測技術上,主要透過準直光束有效的入射到結構表面產生散射狀況,擷取散射角度不同的繞射光,可以計算出真實結構的立體樣貌,主力為量測光柵或透鏡陣列等等的穿透型元件表面結構,也是能夠有效取代白光干涉儀的光學度量新技術。
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