半導體式二維材料高靈敏氣體感測元件
產品分類:智慧製造相關
廠商名稱:國科會智慧機械科技創新館
攤位號碼:J818
產品特色
團隊開發之材料未來在半導體元件量產時,產品製作過程無需貴金屬製程,製程最少,同時省下貴金屬白金製程、垂直深蝕刻所需費用,製作成本相較於其他市售產品最低。此外,團隊生產之感測膜可承受腐蝕性氣體,可以讓省下3倍模組成本與維護費。
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