對應產品：超音波液體微流量計 μLF-300系列
應用場所：塗佈設備、蝕刻設備、藥液填充、晶圓清洗設備…等

▍液體中的微氣泡也可以檢測到

當測量液體流量出現微氣泡時，流量計的響應性高低影響著測量結果的正確性以及精準度。
日本SONIC所製的超音波液體微流量計為高精密儀器，其檢測響應性高(10msec)，且每秒可輸出100筆檢測數據；因此，當微氣泡經過超音波量測區後，能夠立即進行量測，大幅降低了因微氣泡造成的量測誤差值。

此外，流量計可以連接電腦並搭配軟體，可即時以圖表的方式顯示當前的瞬間流量，以便同步監控液體輸出的穩定性和變化，如下圖所示。

▲流量監控的應用，μLF系列具有高度響應性

搭配專屬軟體，①可呈現最即時的瞬間流量數據
　　　　　　　②可透過參數欄位輕鬆調整設定
在測量過程中，瞬間流量及累計總流量數據採CSV檔格式保存，讓相關產品的開發者或品管單位能更輕鬆的觀察和應用這些資料。

▍高響應性與高精度的數據檢測

針對測量液體中有微氣泡經過，影響您的檢測數值，歡迎洽詢廣億科技！ 

承上圖，當使用超音波進行量測時，您可以收集到高響應的數據(10msec)。可透過參數調整因微氣泡所產生混亂的數值進行整定，使檢測結果避免受到影響而異常(如下圖)。

反之，低響應性的產品，參數調整的準確性相對較未知，可能有無法檢測的情形。

 (下圖藍色區域內為奈米氣泡示意圖)

在量測精度方面，SONIC的液體流量計採用R.D.標示，此數據規格呈現的產品在滿流量時與F.S.相比具有較高的量測精度。而在低流量時，測量出的數值準確度較高，更接近流量的實際值！

註：低流量範圍(依型號&配管管徑)精度是固定值，並非百分比。

 [延伸閱讀]：精度規格表示法 

▍感測器與液體為非接觸式

μLF系列中感測器不需直接與流體接觸屬於非接觸式，不必擔心感測器發生劣化的情形。
搭配的配管是耐久性高的PFA材質，抗藥物液體腐蝕性較強。

▍現場測試服務

如果您對於流量測量需要更高的精確度，希望避免受到液體中的微氣泡影響，並且想要即時監測瞬間流量，本公司備有樣品可提供給您測試，讓您實際測試流量計的精度和響應性，以增加您對產品的信心。隨後，再進一步討論購買流程。