無塵室風場難掌控?3D超音波風向風速計助您提升生產良率!
廠商名稱:廣億科技股份有限公司
發佈日期:2025-08-08
攤位號碼:M120
對於半導體產業而言,晶圓製程的每一個環節都伴隨著高昂的成本投入,良率的高低更直接影響了晶圓廠的獲利能力。然而,晶圓製造過程複雜且精密,微小的落塵或不穩定的風場,都可能導致不可逆的損失。
為了提高並維持生產良率,管控無塵室內「氣流」成為重要課題。
▌如何選擇風向風速計?
想要精準掌控風場氣流,選擇一款「高精度、小型化且反應快速」的風速是關鍵。
▎案例分享
● 場景應用:半導體無塵室內部氣流監控。
● 用戶回饋:使用了3次元超音波風向風速計後,由於超音波量測不影響無塵室環境,故無需協調停機時間。此外,搭配軟體「可視化」的數據,一旦發現風場問題,能快速確認並避免延誤產能。相較於傳統煙霧測試,整體作業時間節省近50%,不僅提升效率,更進一步改善並穩定良率。
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