壓電陶瓷線性馬達

產品型號：Nanomotion 壓電陶瓷線性馬達

● 運動速度平穩, 最低10nm/sec
● 解析可至10nm, 定位精確, 定位後不晃動
● 整定時間優於伺服馬達
● 響應時間為50-75µsec
● 斷電位置保持
● 無限行程
● 直接驅動
● 低EMI
● 不受磁場干擾
● 重量輕、體積小、高度低
● 可選真空型與無磁型馬達