PBA Systems 共面式空氣軸承平台 - XY 龍門（歡迎客製需求）

 

產品型號：PABG1000

產品分類：機床暨工具機設備

廠商名稱：碧綠威自動化股份有限公司

攤位號碼：L1314

 

產品特色

 

由先進空氣軸承技術結合 PBA Systems 自製線性馬達動力，提供更平穩、更高推力的動力輸出。適合應用在要求低溫升的環境，更廣泛應用於半導體等先進工業自動化製造設備，如半導體曝光及檢測設備、晶圓缺陷檢測設備、玻璃板蝕刻應用、高速取放機台、視覺檢測設備等。

因採空氣軸承設計，無需使用潤滑裝置或潤滑油，維護與保養簡單易執行，為無塵室等需嚴格管控的製程環境的不二之選。

- 趨近於零誤差
- 運行平穩、高速度且低速度漣波
- 重複定位精度出眾：±0.1μm

---
本產品來自 PBA Systems—— 自動化精密定位平台設計製造專家。

查看官網，了解更多資訊：
https://www.pbasystems.com.sg/product/pabg1000-co-planar-xy-air-bearing-sub-micron-gantry/

 

相關產品

 

• 

  PBA Systems PFG4000 系列超精密雙驅龍門

• 

  PBA Systems PPH 整合 Z-Theta 取放頭滑台

• 

  PBA Systems PZA-H 系列Z軸高精度定位滑台

• 

  PBA Systems PCCA 平面緊湊型帶中空孔XY模組

• 

  [新品] PBA Systems PZM-D 系列高精度 Z 軸動態微型滑台 & PZA-H 系列 Z 軸定位滑台（歡迎客製需求）

• 

  PBA Systems PDDRM 直驅旋轉馬達

• 

  PBA Systems PLA 系列線性馬達滑台（歡迎客製需求）

• 

  PBA Systems EXC 系列有鐵芯式線性馬達（歡迎客製需求）

 

 

 

回列表