iVS高精度振動量測監控系統

 

產品型號：iVS Monitoring System

產品分類：智慧工廠

廠商名稱：創智先進科技股份有限公司

攤位號碼：L1101

 

產品特色

 

創智先進科技開發的「有線振動量測監控系統」，是一種以實體連接線路傳輸訊號為主的振動監控架構，利用高精度三軸 iVS 振動 Sensor ，透過 USB 有線方式連接至 IPC 電腦，整體架構上已具備高度整合性，可廣泛應用於工業設備、機械加工、電機驅動與半導體製程等領域。

-光電半導體振動量測應用-
半導體機械手臂晶圓傳送穩定性監控量測。
半導體黃光設備光阻塗佈穩定性分析監控。
半導體封裝晶圓切割研磨設備製程監控。
半導體平坦化CMP設備製程監控。
廠務真空幫浦與冰水主機健康度監控。
面板清洗塗布生產製程穩定性監控。
精密AOI設備機台量測穩定性分析。
晶圓探針設備量測穩定性監控。

 

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