PIM IoT Hub(Fault diagnosis)
產品分類:製造設備與工具機
廠商名稱:汯沅科技有限公司
攤位號碼:尚未更新
產品特色
OPS & Camera & PIM
在高階半導體製程對生產環境要求日益嚴格的趨勢下,本產品針對晶圓傳送過程中所使用的 OHT(Overhead Hoist Transfer)系統,
將傳輸過程中產生的震動訊號與影像數據結合,並搭配專門開發的 OPS(OHT Position Sensor)進行毫米級的精密定位。
透過此技術,能更準確地判斷晶圓於傳送過程中可能遭遇的不可預測因素,進一步提升製程穩定性與生產品質。
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