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首頁 / 參觀資訊 / 2024 參展商產品 / 智能自動光學3D線共軛焦量測線掃描

智能自動光學3D線共軛焦量測線掃描

產品型號：C082

產品分類：智慧製造相關

廠商名稱：和全豐光電股份有限公司

攤位號碼：J1008

產品特色

SE-5AT半導體系列
線共軛焦為非接觸式3D細微表面量測設備，採線掃與共聚焦技術，達到快速微米級之量測。

智能自動光學3D線共軛焦量測備優勢與特色
→ 同時滿足高速、微米級高度段差量測。
→ 可搭配點雲AI深度學習系統，進行點雲資訊判讀。
→ 可搭配白光干涉顯微系統，作為複判抽檢奈米級量測。
→ 可量測吸收性或著色材料、擴散性與反射性材料。
→ 粗糙與拋光的材料表面，均可進行測量。

➤ 適用於
晶圓類（矽晶圓、藍寶石、SIC、GAN等）半導體晶圓表面輪廓檢查，元件類 (LED、LED、Micro lens、MEMS等) 微結構表面形狀參數量測。
PCB類(載板(ABF)、精密焊接、焊球) 微結構表面形狀參數量測。

➤ 量測項目
2D/3D表面輪廓、段差、翹曲度等微結構表面參數量測。

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