非制冷型紅外線感測器
產品分類:智慧製造相關
廠商名稱:國立高雄科技大學
攤位號碼:Q712
產品特色
本發明之主要目的是提供一種可與CMOS IC製程相容且具有高吸收率之非制冷型紅外線感測器,期以克服習知非制冷型紅外線感測器的缺點。本發明非制冷型紅外線感測器可利用晶圓代工廠大量生產,且懸浮結構具有複數孔洞、雙材料介電質層與紅外線反射層的設計,雙材料的設計可增加紅外線吸收的波長範圍,孔洞及紅外線反射層的設計可增加紅外線在非制冷型紅外線感測器中的吸收路徑,故可藉由提高紅外線的吸收率來大幅提升非制冷型紅外線感測器之靈敏度。
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