製程設備半導體氣浮平台

 

產品型號：製程設備半導體氣浮平台

產品分類：機床暨工具機設備

廠商名稱：珂業機械有限公司

攤位號碼：Q018

 

產品特色

 

珂業機械｜精密花崗岩氣浮平台
氣浮設備的穩定基石，我們專注於花崗岩本體製造

我們專注製作高精度天然花崗岩平台，為各類氣浮系統、無接觸運動模組與高端定位設備提供最穩定的結構基礎。花崗岩本身具備低熱膨脹、高剛性與高阻尼性，是氣浮平台達成微米級、甚至奈米級精度不可或缺的核心材料。

✦ 我們的優勢：
🔹 精選花崗石材質，穩定可靠
採用天然黑色花崗岩，經長期熟成與挑選，具備優異的抗變形能力與低熱膨脹係數，能長時間維持平台的幾何穩定性。

🔹 微米級研磨加工，精度保證
平台經高精密研磨與檢測，平面度可達微米等級，支援氣浮滑台與精密定位模組安裝，為整體氣浮系統提供穩固、高精度的工作面。

🔹 客製化開孔與結構整合設計
可依照客戶需求進行氣浮孔位加工、導軌溝槽、定位孔設計與底部支撐結構整合，協助設備商快速導入系統整機。

✦ 常見應用：
● 半導體晶圓氣浮平台
● 光學檢測與 AOI 定位平台
● 雷射加工滑台基座
● 無接觸搬運與對位平台
● 多軸精密氣浮滑台的結構底座

📌 無論您是設備商、系統整合商，或是需要高穩定結構的開發單位，我們的精密花崗岩平台都能提供穩定、高精度、客製化的支撐基礎，協助您打造出真正可靠的氣浮運動系統。

 

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